造成加工精度異常故障的原因隱蔽性強，診斷難度比較大，歸納出五個主要原因：機床進給單位被改動或變化；機床各個軸的零點偏置異常；軸向的反向間隙異常；電機運行狀態異常，即電氣及控制部分異常；機械故障，如絲杠，軸承，軸聯器等部件。另外加工程序的編制，刀具的選擇及人為因素，也可能導致加工精度異常。
  數控機床精度降低排查及故障診斷方法
  1.功能程序測試法將G，M，S，T，功能的全部指令編寫一些小程序，在診斷故障時運行這些程序，即可判斷功能的缺失。

  2.參數檢查法：參數通常是存放在RAM中，有時電池電壓不足，系統長期不通電或外部干擾都會使參數丟失或混亂，應根據故障特征，檢查和校對有關參數。
  3.直觀法：（望聞問切）問-機床的故障現象，加工狀況等；看-CRT報警信息，報警指示燈，電容器等元件變形煙熏燒焦，保護器脫扣等；聽-異常聲響；聞-電氣元件焦糊味及其它異味；摸-發熱，振動，接觸不良等。
  4.同類對調法用同功能的備用板替換被懷疑有故障的模板，或將功能相同的模板或單元相互交換。
  5.隔離法：一些故障，難以區分是數控部分，還是伺服系統或機械部分造成的，常采用隔離法。